La technologie MEMS au service de l'extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano

Pardoen, Thomas;Raskin, Jean-Pierre
(2006) ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivre, ENSEEG — Location: Grenoble, France (2006)

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Pardoen, T., & Raskin, J.-P. (2006). La technologie MEMS au service de l’extraction des propriétés mécaniques des matériaux aux échelles micro et nano. Proceedings of the ISTM Seminar. Published. ISTM Seminar - Maîtrise et caractérisation locale de microstructures dans les lignes d’interconnexions cuivre, ENSEEG, Grenoble, France. https://hdl.handle.net/2078.5/230699