Co-intégration de nouvelles techniques de micro-fabrication et du procédé CMOS/SOI standard en vue de réaliser des microsystèmes

Laconte, J., Akheyar, A., Parvais, B., Afzalian, A., Dupont, C., Remus, V., Raskin, J.-P., & Flandre, D. (2001). Co-intégration de nouvelles techniques de micro-fabrication et du procédé CMOS/SOI standard en vue de réaliser des microsystèmes. Les MEMS : quelles compétences pour quels secteurs en Wallonie ?, Casteau Resort Hotel, Mons (Belgium). https://hdl.handle.net/2078.5/227871